在芯片上刻出的线路宽度，只相当于头发丝粗细的1/1000，这是芯片制造环节中最关键的“光刻技术”。位于合肥市经开区的芯硕半导体公司在这一领域弥补了国内空白。一个仅100多人的公司，承担着国家重大科技专项的研发，已经拥有近100项国家专利。
打破芯片制造设备进口依赖，为集成电路产业提供高性价比的本土装备，皖企正抢占一个百亿元市场的先机。
集成电路是产业短板，光刻机是短板中的短板
一块纽扣大小的芯片，可满足100部标清电影同时在线播放。 “就这么一小块，价格比黄金贵得多。缺‘芯’，一直是安徽制造、中国制造面临的普遍问题。 ”芯硕公司董事长朱光伟说。
集成电路俗称“芯片”，英文缩写IC，被喻为国家的“工业粮食”、整机设备的“心脏”，其技术水平和发展规模已成为衡量一个国家或地区产业竞争力和综合实力的重要标志之一。
近年来，我国集成电路进口每年超过2000亿美元，与石油一起位列最大的两宗进口商品。根据2013年的统计数据，我省电子信息产业总量约占全省工业的6%，占工业六大主导产业的8%，其离主导产业的要求还有较大差距；而电子材料、电子元器件等基础领域占全行业的比重接近50%，位于高端的集成电路占行业比重则不足3%，结构性矛盾仍较突出。
为什么手机越做越薄、功能越来越多，是因为芯片设计能力的提高、制造技术的升级。而光刻设备在芯片制造中起到了关键作用。合肥工业大学微电子学院专家表示，在设计环节，省内企业正奋起直追，以合肥为中心的集成电路设计产业集聚区雏形已现，其中已不乏一些优秀的公司，与国外的差距正迅速缩小；在制造环节，高端芯片在设计好后要拿到国外去做，原因在于国内缺乏芯片制造中的核心装备——高端光刻机。
“集成电路是各大产业中的短板，光刻机则是短板中的短板。 ”朱光伟表示，方寸之间，小小芯片的自主研发不仅需要设计能力的突破，还需要工艺水平的提升，以及关键材料和设备研发等各环节协同进步，才能保障目标实现。
“集成电路产业与智能装备产业有机结合，对促进我省高成长性产业发展大有裨益。 ”省经信委有关负责人说。
自主技术打破西方垄断，产业再添高端“利器”
去年10月，由芯硕半导体有限公司自主研制的半导体直写光刻机ATD4000和国内首台 “激光防焊曝光机”——Galaxy100，正式交付中国电子科技集团在皖某军工产品研究所和中国航天集团某军工研究所使用，我省乃至我国集成电路产业再添高端装备“利器”。这款设备是芯片制造中的必备设备，其准精度和资料解析度等技术指标均达到国际领先水平，成功打破了国外对华的技术封锁。
“研发进度缩短了一个多月，帮我们解决了大问题！ ”中电科集团在皖某研究所负责人介绍，目前很多智能高端军工装备均离不开芯片。目前国防科研院所、企业在生产芯片时，所使用的光刻设备多依赖进口。由于西方技术封锁，多为二、三手设备，且价格昂贵。由于一些进口设备已经落伍，导致制作精度达不到设计要求，产品不合格率高，研发任务计划完成时间无法保证。
芯片加工制造与专用设备密切相关，“一代设备，一代工艺，一代产品”是行业通常的说法。目前，集成电路的集成度和产品性能每18个月左右增加一倍。在芯片制造技术中，最关键的是薄膜生成技术和光刻技术。
“自主品牌光刻机打破国外对华技术封锁，有力保障了军工安全。 ”该研究所负责人表示，随着我国军工高端装备的发展，集成电路装备进口逐年增加，相关风险也与日俱增。由于激光直写光刻设备是将设计图纸转换为光电信号通过激光刻制到芯片上，设备在硬件、软件、维保等方面存在泄密风险，而拥有完全自主知识产权的芯片核心制造装备，将极大地提高我国军工装备的信息安全。
瞄准芯片制造的半导体直写光刻高端装备，芯硕已在国防科研院所及有关企业的国际招标上屡屡中标，成为能与国际巨头正面竞争的光刻高端装备制造商。
集成电路“本土化”加速，芯片装备产业前景广阔
1月12日晚上7点半，记者在芯硕半导体有限公司看到，办公楼灯火通明，研发团队正商议实施1小时前接到的光刻机订单。
“接订单、研发、交付、售后，公司在各阶段对客户需求第一时间响应并迅速行动，正赢得国内集成电路产业相关公司越来越多的认可。 ”芯硕公司常务副总经理陈和明介绍，在去年第四季度销售额超过2000万元的基础上，公司今年一季度的预订单目前已经超过2000万元，全年销售目标是超过1亿元。仅在曝光机领域，国内市场存量为5000台左右，都面临着产业升级而被淘汰的窘境。按照每台平均300万元计算，仅更新换代就可以为相关设备生产商提供150亿元的市场。如果再算上增量，集成电路装备产业发展前景广阔。
业内人士介绍，因为有了安徽产的光刻设备，进口设备在国内的销售价格下降了50%以上。 “由设备延伸出来的生产性服务业，也有很大的发展空间，有望成为集成电路产业及公司新的增长点。 ”陈和明介绍，国外光刻机每年的维护费，通常为设备售价的1/10，仅此一项，每台设备每年的维护费支出就达数十万甚至上百万元。
去年7月，我省出台《关于加快集成电路产业发展的意见》，提出到2020年，显示面板、家电、汽车电子等领域的芯片本土化率达20%左右。芯片“本土化”加速，前景值得期待。
