扩散硅压力变送器的可靠性高,扩散硅敏感膜片的弹性形变量在微应变数量级,膜片最大位移量在来微米数量级,且无机械磨损,无疲劳,无老化.扩散硅压力变送器的精度高,扩散硅压力传感器的感受\敏感转换和检测三位一体,无机械动件连接转换环节,所以不重复性和迟滞误差很小.由于硅材料的刚性好莱坞,形变小,因而传感器的线性也非常好.因此它的精度很高.扩散硅压力变送器
的灵敏度高,扩散硅敏感电阻的灵敏因子比金属应变片高50~80倍,它的满量程信号输出在80-100mv左右.对接囗电路适配性好,应用成本相应较低.由于它输入激励电压低,输出信号大,且无机械动件损耗,因而分辩率极高.扩散硅压力变送器的频响高, 由于敏感膜片硅材料的本身固有频率高,一般在50KC.制造过程采用了集成工艺,膜片的有效面积可以很小,配以刚性结构前置安装特殊设计,使传感器频率响应很高,使用带宽可达零频至100千赫兹.
用户在选用扩散硅压力变送器时,可根据自己所测压力的性质,首先应确定选择表压\差压\绝对压力或负压品种.如果测量液位,还要确定液位上方是自由大气压还是密封容器压力.一般选择使工作压力值在标准量程值的60%-80%为宜,整个测
量系统中可能出现的异常情况所导致的过载压力不得超过产品允许的最大过载.测量动态管路液体压力时,还应考虑水垂效应,
扩散硅压力变送器在使用时,要注意用活塞压力计标定时,活塞故障卡死未发现,导致压力冲开时高过载冲击敏感膜.扩散硅传感器零位输出不能直接采用单臂联电阻法进行消除,可采用软件归零法\差动输入修整法\T型电阻网络修正等.
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